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招标!长江存储新一轮设备采购,国产化率提升
招标!长江存储新一轮设备采购,国产化率提升
录入时间:2020/7/20 15:42:23

招标!长江存储新一轮设备采购,国产化率提升

 2020年7月初,长江存储开启新一轮大规模设备采购招标,涉及刻蚀、清洗、薄膜、热处理设备等一系列晶圆制造设备。

2020年6月20日,长江存储国家存储器基地项目二期在武汉东湖高新区开工。国家存储基地项目由紫光集团、国家集成电路产业基金、湖北省科投集团和湖北省集成电路基金共同投资建设,计划分两期建设3D NAND闪存芯片工厂。该项目一期于2016年年底开工建设,进展顺利,目前32层、64层存储芯片产品已经实现稳定量产,并成功研制出全球首款128层三维闪存芯片。

为了不断提升产能的需要,2020年7月初,长江存储开启新一轮大规模设备招标(包含第40批次及第41批次),主要针对刻蚀设备、清洗设备、薄膜设备、热处理设备为主的一系列晶圆制造设备的采购。

长江存储近期设备招标情况

亚化咨询半导体行业分析师对最近三批(第39批次、第40批次以及第41批次)的设备招标情况进行整理,截至2020年7月15日,最近三个批次总共准备招标470台设备,主要包括刻蚀设备、清洗设备、薄膜设备、显影/涂布设备、抛光设备、离子注入设备、量测/检测设备。

 

 长江存储作为中国存储龙头企业,给国产化设备带来较大的发展机遇。


——长江存储国产设备中标情况

从总数上看,长江存储共中标185台国产设备(这里的国产设备指晶圆制造中使用的主要工艺设备,如光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、薄膜设备等,不包含泵、污染物处理、气体/液体注入系统等相关设备,下同),在刻蚀设备、去胶设备、氧化/热处理设备、薄膜设备、抛光设备、清洗设备、量测/检测设备领域实现了一定程度的国产化。

 

 目前YMTC主要的国产设备供应商为北方华创、屹唐半导体、中微半导体、盛美半导体、华海清科、精测电子、沈阳拓荆科技、中科飞测、睿励科学仪器等企业。


亚化咨询研究显示,北方华创的设备在YMTC中标的国产设备中占的比例最高,达到30%,屹唐半导体和中微半导体位居第二、第三。

 

从逐年的数据来看,YMTC在2019年中标的国产设备呈爆发式增长,甚至超过了2017年和2018年的总和。从2020年1月至2020年7月15日,YMTC中标的国产化设备已经达到45台,目前YMTC开启新一轮的大批次设备中标,国产设备企业有望争取到更多的订单,预计2020年YMTC中标的国产设备将超过120台。

 

YMTC国产设备数量及占比不断提高,令半导体国产化发展为之振奋。但在另一方面,目前国产设备企业在先进光刻机、离子注入设备、ALD设备、检测设备等方面仍显逊色,与国际领先企业间的差距巨大。

尤其在先进存储厂及先进逻辑代工厂所用的光刻机领域,几乎被ASML、尼康、佳能三家企业所垄断,而国产设备仍需要至少十年的发展之路,才能有望实现初步的国产化。


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