|
 |
技术文章
|
世界各國潔淨度等級比照表 |
|
世界各國潔淨度等級比照表 |
世界各國潔淨度等級比照表
|
國 名
|
美 國
|
美 國
|
日 本
|
英 國
|
德 國
|
規 格
|
FS 209D
|
FS 209E
|
JIS B 9920
|
BS 5295
|
VDI 2083
|
年 度
|
1988
|
1992
|
1989
|
1989
|
1990
|
粒子基準
|
0.5 um
|
0.5 um
|
0.1 um
|
0.5 um
|
1 um
|
單 位
|
pcs/ft3
|
pcs/m3
|
pcs/m3
|
pcs/m3
|
pcs/m3
|
等 級
|
-
|
-
|
1
|
-
|
-
|
-
|
M 1
|
2
|
-
|
0
|
1
|
M1.5
|
3
|
C
|
1
|
10
|
M2.5
|
4
|
D
|
2
|
100
|
M3.5
|
5
|
E~F
|
3
|
1,000
|
M4.5
|
6
|
G~H
|
4
|
10,000
|
M5.5
|
7
|
I
|
5
|
100,000
|
M6.5
|
8
|
J
|
6
|
-
|
M 7
|
-
|
K
|
7
|
-
|
-
|
-
|
L
|
8
|
版权声明:
《洁净室》网站的一切内容及解释权皆归《洁净室》杂志社版权所有,未经书面同意不得转载,违者必究!
《洁净室》杂志社。
|
|