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技术文章
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世界各國潔淨度等級比照表 |
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世界各國潔淨度等級比照表 |
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世界各國潔淨度等級比照表
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國 名
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美 國
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美 國
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日 本
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英 國
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德 國
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規 格
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FS 209D
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FS 209E
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JIS B 9920
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BS 5295
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VDI 2083
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年 度
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1988
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1992
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1989
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1989
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1990
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粒子基準
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0.5 um
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0.5 um
|
0.1 um
|
0.5 um
|
1 um
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單 位
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pcs/ft3
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pcs/m3
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pcs/m3
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pcs/m3
|
pcs/m3
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等 級
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-
|
-
|
1
|
-
|
-
|
|
-
|
M 1
|
2
|
-
|
0
|
|
1
|
M1.5
|
3
|
C
|
1
|
|
10
|
M2.5
|
4
|
D
|
2
|
|
100
|
M3.5
|
5
|
E~F
|
3
|
|
1,000
|
M4.5
|
6
|
G~H
|
4
|
|
10,000
|
M5.5
|
7
|
I
|
5
|
|
100,000
|
M6.5
|
8
|
J
|
6
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|
-
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M 7
|
-
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K
|
7
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-
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-
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-
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L
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8
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