实验室引入安平静电研发的“空间洁净离子棒”。为工艺环境核心洁净度与静电控制筑牢保障。产品以“净化、除电、平衡”为核心设计理念，精准契合了实验室对生产环境的极致要求。

 

在“净化”方面，该设备能有效消除空气中悬浮的微尘颗粒，确保超薄衬底在制备过程中免受污染；在“除电”层面，其高效的中和静电能力避免了材料表面因静电吸附杂质或产生放电损伤，保障了工艺的良率与一致性；而“平衡”理念则体现在设备能维持空间电位的稳定，为精密的外延生长过程创造均匀、可控的环境条件，从而为“超薄衬底”的完美制备扫除了潜在障碍。

 

这一突破既彰显半导体客户在前沿材料领域的研发实力，也体现安平静电以创新技术赋能高端制造的重要支撑价值。

 

来源：安平静电科技