上海积塔半导体有限公司扩产-洁净室扩充项招标

特色工艺生产线建设项目SiC 4k扩产-洁净室及管道设施扩充项招标

该招标项目特色工艺生产线建设项目由上海市经济和信息化委员会以关于“特色工艺生产线建设项目”申请认定市级重大产业项目批准建设，建设地点在上海市浦东新区云水路600号。

该整体工程建设所需的SiC 4k扩产-洁净室及管道设施扩充项目受上海积塔半导体有限公司委托进行国内公开招标。

招标内容限上海积塔半导体临港厂区，主要有：
           - SiC-4K工艺产能扩充项目：区域FFU风机单元安装
          - SiC-4K工艺产能扩充项目：区域冲身洗眼器安装
          - SiC-4K工艺产能扩充项目：区域DCC&新风管安装
          喷淋、防排烟、应急照明及疏散指示、灭火器、空气采样
          区域接地系统
          区域纯水工艺系统
          区域废水回收系统
          区域大宗气供应系统
          - 200mm主生产区参观走道、区域FFU单元/高架地板/照明系统/自控传感器移位/消防系统布置/隔墙拆除或移位
    该项目进度计划要求必须在2023年3月31日前完工。
    该项目的建成，意味着上海市半导体产业主体中近期将又有一个市级重大产业项目建成。           

                        （本刊记者彦雯采写）