1. 测试目的  

验证洁净室温度、相对湿度参数持续符合设计及工艺要求，确保环境稳定性与产品良率。

2. 测试设备  

温湿度传感器：精度≤±0.5℃（温度），≤±3%RH（湿度），校准有效期≥6个月。

数据记录仪：采样间隔≤1分钟，存储容量≥30天。  

辅助工具：支架（避免热传导干扰）、激光测距仪（定位布点）。

3. 布点原则  

关键区域：工艺设备操作位、物料暴露区、回风口1m范围内。

空间覆盖：每100m²至少5个测点（不足100m²按实际面积均布），距地面0.81.2m（工艺特殊要求除外）。  

避免干扰源：距热源/湿源≥0.5m，避开送风口直射区域。

4. 测试程序  

1. 预处理：洁净室连续运行≥24小时，达到稳态工况。  

2. 设备安装：传感器固定于独立支架，与墙体/设备距离≥30cm。  

5. 数据采集：  

 静态测试：无人员状态下持续记录≥24小时。

 动态测试：正常生产期间持续记录≥3个完整班次。

6. 参数范围 

 温度控制精度：设定值±2.0℃（如无特殊工艺要求）。  

 湿度控制精度：设定值±5%RH（如无特殊工艺要求）。  

7. 合格判据  

所有测点数据持续处于设定范围内（允许瞬时超限≤5分钟）。

区域最大温差≤3.0℃，最大湿度差≤10%RH（同一功能区内）。  

8. 数据报告  

原始数据图表（时间温湿度曲线）。  

空间分布热力图（标注超限点位置）。  

结论性声明：符合性判定（合格/不合格）及超限原因分析（如适用）。

来源：洁净工程联盟、卓越工程师联盟